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磊晶目的
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銅晶圓接合 - 政府研究資訊系統GRB
本計畫的目的為使用奈米碳管與鎳奈米線材料之矽晶直通孔(TSV)示範三維積體電路測試 ... 由於異質單晶薄膜在一單晶基板上的製作常因晶格差異(>5%)而無法直接以磊晶方式 ...
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