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CTIMES- 碳化矽基板及磊晶成長領域環球晶布局掌握關鍵技術

現有的半導體元件是在磊晶基材上成長磊晶層，然後再於磊晶層上製作元件的結構。而磊晶用的基材通常會在基板上成長緩衝層，緩衝層之目的即是用以減少基板與 ...

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