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磊晶方法
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半導體製程技術
磊晶 矽薄膜的純度高、缺陷少、性質佳,但其製程溫度最高、難度最高,因此在元件應用上 ... 晶上以熱處理方法長一層氧化層,其次在氧化. 層上塗一有機光阻層。
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