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晶圓薄膜epi-Si 晶向

晶體提拉: CZ 方法. 查克洛斯基方法. 石墨坩堝. 單晶矽晶棒 ... 磊晶. • 希臘字源. • epi: 往上. • taxy: 有次序的, 排列的. • 磊晶層為一生長在單晶基片上單晶層.

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