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磊晶方法
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LED元件與產業概況 - 第 50 頁 - Google 圖書結果
GaAs 氣相磊晶通常有兩種方法:氯化物法和氫化物法,該技術工藝設備簡單、生長的 GaAs 純度高、電學特性好,已廣泛的應用於二極體、場效應電晶體等微波元件中。
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