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磊晶方法
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第四代半導體:氧化鎵 - DigiTimes
除了晶圓製作外,這兩家公司也有磊晶成長的技術,使用的是hydrid VPE (HVPE)的方法。此法是利用氯化氫(HCl)氣體與加熱成液態的鎵金屬,反應形成的氯化 ...
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