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氫分離單晶矽基薄膜科學及技術研究

由於合成一與基板材料相異之單晶薄膜材料非常難製作，使得此類技術成為發展奈米製程的指標技術。此種薄膜合成的方法，主要有兩大類：直接磊晶在工作基板上生長想要的材料 ...

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