查克洛斯基法是較常用的方法– 價格便宜– 較大的晶圓尺寸(直徑300 mm ) ... 氫氣沖洗, 溫度升高• 氯化氫清潔反應器• 磊晶薄膜成長• 氫氣沖洗, 溫度冷卻• 氮氣沖洗• 打開 ...
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