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CTIMES- 碳化矽基板及磊晶成長領域環球晶布局掌握關鍵技術

環球晶提出一種碳化矽晶片表面加工方法，在犧牲氧化層形成的步驟中，以有機薄膜或蠟膜來輔助，使得讓矽面的氧化速率大於碳面的氧化速率，從而減少材料的 ...

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