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單晶三族氮化物的形成方法 - 中原大學

與矽基材的晶格完全不匹配。此外,一般三. 族氮化物使用高溫成長,例如有機金屬化學. 氣相沉積、分子束磊晶等方法,致使製造成. 本高,而高溫製程也導致殘留應力而易碎裂。

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