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(12) 发明专利申请

2.如权利要求1所述的金属有机物磊晶薄膜的制造方法,其特征在于,所述晶圆基板. 是采用有机金属的硅元素晶柱,该有机金属为:氧化铝、氮化铝、砷化铝、砷化镓、或氮化镓。 3.如 ...

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