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晶圓薄膜epi-Si 晶向

磊晶. • 希臘字源. • epi: 往上. • taxy: 有次序的, 排列的. • 磊晶層為一生長在單晶基片上單晶層 ... DCS 磊晶成長, Arsenic 摻雜 ... 磊晶矽成長速率趨勢.

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