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磊晶成長
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磊晶成長過程之晶圓曲率評估 - Research NCKU
摘要. 本論文探討GaN磊晶於矽基板之晶圓曲率變化與磊晶薄膜應力之關係。薄膜應力來自於磊晶層與基板間之晶格不匹配與熱不匹配,與磊晶結構有關。
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