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第四代半導體：氧化鎵 - Digitimes

除了晶圓製作外，這兩家公司也有磊晶成長的技術，使用的是hydrid VPE (HVPE)的方法。此法是利用氯化氫(HCl)氣體與加熱成液態的鎵金屬，反應形成的氯化 ...

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