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磊晶成長
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以超高真空化學束磊晶系統成長氮化銦薄膜對結構特性之研究
本文利用自組裝之超高真空化學束磊晶系統成長高品質氮化銦(InN)薄膜於氮化鎵(GaN). 磊晶層上,實驗過程中,主要探討以調變不同基板溫度對氮化銦薄膜結構及表面形貌 ...
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