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三族氮化物薄膜之磊晶成長與物性分析
三族氮化物薄膜之磊晶成長與物性分析摘要三族氮化物材料如氮化鋁(AlN),氮化鎵(GaN)與氮化銦(InN)為一個在光電應用上極具發展性的寬能隙半導體材料系統。
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