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半導體用矽晶圓材料發展概況- 產業技術評析

而今大家提及之磊晶矽晶圓片(Epitaxial Wafer)，主要是指在一拋光晶圓片，亦 ... 單結晶薄膜，而這層薄膜會在某個平面上進行規則排列的成長行為稱之。

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