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使用射頻電漿輔助化學束磊晶成長氮化銦磊晶材料於 ... - ProQuest

研究結果顯示，在實驗條件下矽(111)基板表面會產生氮化矽層(SixNy layer)，隨著氮化時間或流量增加，表面會形成β-Si3N4，有助於纎鋅礦結構氮化銦磊晶生長。透過X光繞射分析 ...

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