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磊晶成長
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化學氣相磊晶 - 政府研究資訊系統GRB
本研究計畫主要可以分成兩部分,第一部分以低溫連續流動式化學水浴沉積法進行氧化鋅厚膜成長; 第二部分新型次微米圖案化製程輔助氧化鋅側向磊晶成長技術開發。
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