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磊晶成長
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化合物半導體磊晶市場剖析- 產業.科技- 工商時報 - 中時新聞網
現行化合物半導體商用磊晶製程技術,大致可分成MOCVD(有機金屬氣相沉積法)和MBE(分子束磊晶技術)。若以成長技術而論,MOCVD的成長條件由氣相方法進行 ...
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