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SiC晶圓製造究竟難在哪？ - 電子工程專輯

其中，基板是所有半導體晶片的底層材料，起物理支撐、導熱、導電等作用；磊晶是在基板材料上生長出新的半導體晶層，這些磊晶層是製造半導體晶片的重要原料 ...

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