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看準台積電大幅採用EUV，科磊推電子束圖案化晶元缺陷檢測

就在晶元代工龍頭台積電已經進入5納米製程量產，並且大量採用極紫外光刻設備(EUV) 的情況下，美商半導體設備商科磊(KLA) 於21日宣布， ...

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