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無塵室節能技術簡介 - 台灣半導體產業協會

高效磁浮離心冰水機 ... 專利磁浮離心式壓縮機：主動式磁浮軸承建立國產全自主壓縮機商品 ... 溫度高(160℃)，能耗過大、吸附容量不足缺點. 應用範圍.

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