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單晶碳化矽在微電子及微感測元件之應用

碳化矽 (silicon carbide, SiC) 屬於較矽、鍺等半. 導體材料後期發展起來之寬能帶(bandgap) 半導體. 材料。其材料特性和常用之半導體材料：矽(Si) 及.

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