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碳化矽長晶爐
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長晶爐製程600公斤多晶矽長晶功率與製程參數之關係 - Lvnmk
本研究將長晶爐建模成二維平面非對稱結構進行有限元素模擬分析,並採用暫態方式 ... 藉由數值模擬方法了解碳化矽生長製程中的溫度場及流場之分佈情形,並分析石墨坩堝 ...
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