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碳化矽長晶爐
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https://ndltd.ncl.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi/login?o=dnclcdr&s=id=%22106NCKU5159092%22.&searchmode=basic
利用COMSOL Multiphysics建立物理氣相傳輸製程模擬碳化矽 ...
本研究目的在於以模擬觀點建立一碳化矽晶體長晶系統,透過先行模擬計算瞭解長晶爐體內部之物理現象並提出改善方案,以減少不必要的實驗成本。
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