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碳化矽晶體材料技術發展 - 材料世界網

這是因為晶圓在SiC元件中佔據~50% 的成本，且其晶體質量直接影響組件製造的良率。本文將對SiC產業現況及長晶技術的發展做簡要的介紹。 一、前言.

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