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北美智權報第293期:碳化矽SiC基板發展現狀淺析
碳化矽 基板的尺寸主要有2吋(50mm)、3吋(75mm)、4吋(100mm)、6吋(150mm)、8吋(200mm)等規格,與矽晶圓類似,大尺寸的晶圓也是碳化矽基板的發展 ...
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