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碳化矽英文
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材料科學與工程研究所 - 國立交通大學機構典藏
本論文主要探討以微波電漿化學氣相沉積(MPCVD)立方晶碳化矽. (β-SiC)及鑽石薄膜的形成過程,並分析其晶向分布。論文第一部分主要. 探討製程參數對於碳化矽層形成之 ...
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