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碳化矽半導體技術與應用(原書第2版)

碳化矽 半導體技術與應用(原書第2版). [日] 松波弘之大谷昇木本恆暢中村孝等. 碳化矽 ... 缺點 4.2SiC單晶襯底的研磨技術 4.2.1粗加工 4.2.2精加工 4.2.3雙面CMP 4.3SiC單 ...

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