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Sic 切割2023

11 Sic 切割Sic 切割SiC单晶片的超精密加工工艺，按照其加工顺序，主要经历以下 ... 大，线刚度增大导致金刚石颗粒对于SiC晶体的避让减小，实际切痕变大，材料目前SiC ...

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