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碳化矽加工
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儒漢甡股份有限公司
日本Engis目前已經提供超精密拋光設備技術以及優異加工磨料給日本國內各大單晶碳化矽(SiC)基板廠商,並且日本產總研(註一)也經測試認可已採用相關的設備。
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