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碳化硅（SiC） - 日本精密陶瓷株式会社

主要用途. 滑动部件（机械密封、化工泵轴承、轴）; 粉碎机部件（分级机、气流粉碎机、砂磨机）; 半导体制造设备部件（XY平台、MOCVD托盘、聚焦环、晶圆夹盘） ...

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