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化學氣相沉積與介電質薄膜

氧過量. 矽過量. Si. 3. N. 4. 2.01. 氮過量. 矽過量. 氮氧化矽. SiO. 2. 1.46. 氧過量. 氮過量. 矽過量. 69. 矽過量. Page 70. 橢圓光譜儀系統.

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