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半導體製程技術 - 聯合大學

硼(B)和磷(P)在二氧化矽的擴散速率比在矽的擴散. 速率來的低 ... 矽. 二氧化矽. 襯墊氧化層. 屏蔽氧化層. 犧牲氧化層. 阻擋用的氧化層 ... 摻雜物等向擴散的剖面.

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