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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

濕式蝕刻法利用化學溶液腐蝕晶圓上擬去除的材料，並在完成蝕 ... 子蝕刻為例，就是利用電漿放電方式進行異向性蝕刻的方法。 ... 可控制蝕刻之非等向性. 選擇性適中.

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