0C005 製造氣體擴散膜壁之可抗UF6 腐蝕材料. ... 3C005 碳化矽晶圓、氮化鎵、氮化鋁或氮化鋁鎵之半導體基板....... 162. 3C006 碳化矽,氮化鎵, ... 有效等向幅射功率.
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