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導入電流注入法於矽之金屬輔助化學蝕刻製程 - 9lib TW

本研究針對矽之金屬輔助蝕刻技術，設計建置一套鐵氟龍蝕刻載具，以石墨為電極， ... 物因為受離子轟擊而保留，阻隔蝕刻表面與蝕刻氣體接觸，成為一非等向性蝕刻[22]。

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