二氧化矽的濕式蝕刻(熱氧化法)蝕刻液:HF,蝕刻速率太快,使速率下降(BOE ... 式電漿蝕刻(planarplasma etching) 非等向性蝕刻(anisotropic etch),可生成幾乎是垂直的 ...
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