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光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務 - 管理學院

曝到光的部分之光阻合成高分子之聚合物，而不易被溶去，所以經顯影液處理 ... 前者稱等向性（isotropic）蝕刻；後者則稱為非等向性(anisotropic)蝕.

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