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電器的心臟 半導體的製造方法作者： 石忠弘。國立台南高工

是利用腐蝕溶液將二氧化矽蝕去，此種製法會造成速率相等的等. 向性蝕刻，晶度較差. 2、乾式蝕刻法. 以離子轟擊去除二氧化矽，形成非等向性蝕刻，晶度較高。 圖三蝕刻.

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