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國立高雄大學電機工程學系(研究所) 碩士論文

導入電流注入法於矽之金屬輔助化學蝕刻製程 ... 圖1-1 向下縮減與向上組裝製作技術示意圖. ... 的SiF6，此反應機制能藉由活化金屬方式持續地進行非等向性蝕刻。

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