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第二章文獻回顧與理論探討 - 國立臺灣師範大學

非等向性 蝕刻則是在不同晶格面上會有不同的蝕刻速率，是由於單晶矽的. 結晶方式為鑽石立方結構(Diamond cubic structure)，所以對些特定的蝕刻液，. 如：KOH、EDP 或TMAH ...

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