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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

RCA清洗法為美商RCA公司所發展之矽晶圓清洗技術，於 ... 磷矽玻. 璃. 二氧化矽. 多晶. 矽. 單晶. 矽. 蝕刻物質. 蝕刻液. 幾種常用薄膜蝕刻液與蝕刻率(nm/min)比較 ...

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