為什麼這篇氮化矽蝕刻鄉民發文收入到精華區：因為在氮化矽蝕刻這個討論話題中，有許多相關的文章在討論，這篇最有參考價值！作者bb0303 (empty )看板ChemEng標題[問題] 氮化矽被氫氟酸蝕刻?時間Tue O...
想問有關於氫氟酸蝕刻氮化矽的問題
小弟看得paper很多都寫說 HF對 氮化矽蝕刻速率很慢
但是為什麼小弟的氮化矽就被HF蝕刻假的
根本是用迅速的方式在蝕刻...
氮化矽也有200nm 以paper講的也要耐個1X分鐘吧
我不知道中間到底出了甚麼問題
還是 是小弟的認知錯誤?
麻煩有懂的人指導了 感謝
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推 pttresident:以前用NDL爐管長的nitride真的吃很慢 1.162.89.199 10/30 23:49