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奈米金屬輔助酸蝕刻技術-技術移轉-產業服務

技術簡介. 經由奈米金屬觸媒進行催化反應，將矽基板表面氧化，再使用氫氟酸與雙氧水作為蝕刻液，對矽基板表面進行織構化. Abstract. MACE is based on the reaction ...

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