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多晶矽製絨技術的介紹 - 材料世界網

傳統酸. 蝕刻製程有時會添加少量醋酸，除了可以. 增加矽晶片表面與蝕刻液的接觸外，還可. 以抑制硝酸的解離，以提高硝酸的氧化性. 來增加蝕刻的速率。 傳統酸蝕刻製程的 ...

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