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Untitled - 國立臺灣科技大學

觸媒金屬位於蝕刻反應室旁,其中蝕刻液經由噴嘴傳送至觸媒金屬上。固持. 機構用以固持觸媒金屬。 ... 應力破壞產生損耗造成破片,以及因損耗造成的矽晶圓製造成本.

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