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Re: [問題] 什麼溶劑可以溶解"多晶純矽" ??? - 看板ChemEng

都是用HF 來溶解矽晶圓表面的氧化物SiO2 : 但應該是無法溶解矽基材的部份: ... 另外KOH 或NaOH 也是常見蝕刻液的一種: 我在書上找到他的反應方程式為~ ...

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