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什麼是蝕刻(Etching)？

主要的蝕刻製程是矽蝕刻、多晶矽蝕刻、介電質蝕刻和金屬蝕刻。 ○溼式蝕刻利用化學溶液來 ... 在電漿蝕刻製程中，蝕刻劑注入反應室內並於電漿中分解。

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